研究
X線で半導体微細回路を描く
＃EUVリソグラフィ
＃半導体
＃放射光
＃ナノテクノロジー
POINT
- 1
半導体製品の高性能化につながる
- 2
半導体加工にはX線が使われている
- 3
究極のナノテクノロジー
研究詳細
半導体集積回路はナノメートル（髪の毛の1000分の1くらいの大きさ）のとても小さな電子回路を何十億個も組み合わせています。その小さな回路をX線で描く最先端の技術がEUVリソグラフィです。半導体の性能をあげるには更に細かな回路が必要で、そのためにはどんな材料が必要か？どんな方法で分析するか？どんな分析装置が必要か？と多種多様な課題があります。EUVリソグラフィのための究極のナノテクノロジーを研究しています。
